檢索結果：共5筆資料 檢索策略： "感測器".ckeyword (精準) and cadvisor.raw="曾婷芝"
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本研究利用半導體製程製備植入型微電極陣列探針，製程主要可分成三個階段，第一階段為微電極陣列金屬圖層之形成，利用微影製程技術及電子蒸鍍，將金屬鉑鍍在矽基材上。第二階段為微電極陣列探針表層的絕緣，此階段…
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本研究利用半導體微機械加工製程技術製備植入型微電極陣列感測探針，其中包含光罩設計與半導體加工製程兩大重點方向，在光罩設計方面，我們以繪圖軟體Auto CAD設計繪製光罩上元件圖樣，本製程包含三道光罩…
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在電化學生物感測器當中，通常用可植入式電極探針偵測生物體內的神經傳導物質，其中電極材料的選擇相當多元，像是白金(Pt)電極、金電極(Au)、網印碳電極(C)等。通常可根據所將偵測待測分析物的種類，以…
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本研究利用半導體製程技術研發製備植入型微電極陣列探針，其中所應用的半導體製程包括加熱、微影、薄膜、蝕刻等，並針對每個步驟進行最佳化，進而製備出精密、微型、高產量、低成本的微電極陣列探針。製程主要可分…
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本研究利用半導體加工製程技術製備微電極陣列感測探針，製程的部分共分成為三個階段，第一階段為金屬圖案之定義，使金屬導線，封裝端與電極端的圖案成形。第二階段為探針導線區域絕緣，對整片晶圓沉積介電層後，運…